TAGGED: lumerical
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March 20, 2024 at 2:18 amYeonah KimSubscriber
다음과 같은 구조를 설계했습니다. Ag substrate위 SiO2를 코팅시켜주고 그 위에 나노필라를 deposit한 형태의 plasmonic absorber인데요.
S11을 구할 때, incident angle을 0도가 아닌 각도를 주고 싶어서 grating_s_parameter함수에 source의 theta를 설정하면 특정 세타 이상부터는 다음과 같은 오류가 발생합니다.2도와 3도같은 작은 각도까지는 시뮬레이션이 되는데, 5도부터는 이런 오류 메세지가 뜹니다. 어떤 부분을 수정해야하는걸까요?
no possible grating order라는 오류를 찾아봐도 보이지가 않아 질문드립니다.
참고로 구조의 나노필라 diameter는 92nm, pitch 100nm 입니다. FDTD는 x방향 anti-symmetric, y방향 symmetric, z방향 PML 입니다. 파장은 620nm 이구요 , R monitor는 나노필라의 상단부분에 위치해있고, T monitor은 Ag substrate 부분에 있습니다. (빨간색 선에 살짝 가려진 노란색 선 위치)구조의 주기가 너무 작나 해서 주기를 늘려보아도 같은 오류가 뜹니다. 해결책 아시는 분 계실까요?
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March 20, 2024 at 11:57 pmDong Sub ShinAnsys Employee
안녕하세요,
혹시 S11을 위해서 어떤 방법을 사용하시는지 궁금합니다. 라이브러리에 있는 모니터 혹은 스크립트를 이용하시는지요?
감사합니다.
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March 21, 2024 at 12:02 amYeonah KimSubscriber
안녕하세요! 제가 그걸 제대로 기입하지 않았네요.현재 라이브러리 함수에 있는 grating_s_parameter를 이용해 시뮬레이션 돌리고 있습니다. 모니터도 함수에 포함된 모니터로 같이 돌리고 있습니다
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March 21, 2024 at 12:06 amDong Sub ShinAnsys Employee
해당 사례 구현 확인 후 다시 포스팅 하도록 하겠습니다.
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March 21, 2024 at 4:32 amYeonah KimSubscriber
감사합니다. 혹시 필요하신 정보 있으시면 편하게 말씀해주세요. 참고로 SiO2는20nm, 나노필라의 높이는70nm입니다
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March 25, 2024 at 12:04 am
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March 25, 2024 at 9:11 amYeonah KimSubscriber
말씀해주신대로 테스트를 진행해보았습니다.
구조는 제 구조 기준으로 진행하였구요..
기존의 모든 것들을 disable시키고 차례대로 진행해보았는데요.
처음에는 PL층 (연두색 부분) 하나만 두고 시뮬레이션을 진행하고(1번째 사진), 그 다음은 SiO2층(2번째 사진), 그 후에는 Ag substrate층을 활성화시키며(3번째 사진) 진행해보았습니다.
본래 목적이 30도정도까지 시뮬레이션을 돌리는 것이라 30도에서 진행을 해보았구요.
결론적으로, Ag substrate층을 활성화시키니 그 때부터 똑같은 오류가 발생하네요. 그 전까지는 30도에서도 grating_s_parameters 함수가 정상적으로 계산되었습니다.
혹시 Ag substrate의 물성 문제인가 싶어 기존에 측정하여 쓰던 데이터가 아닌 lumerical의 데이터로 (Ag palik 0-2um) 변경하여도 똑같은 오류가 발생하였습니다
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