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[limgajun]

老师，您好，我最近在使用FDTD做显微镜的成像仿真，我想得到仿真的图像，将仿真的图像与实际显微镜拍摄的图像做对比。 我遇到的问题： 因为显微镜主要分为照明光路和成像光路。成像光路的程序我已经在网站上获得。https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/360042260213-Simplified-microscopic-imaging 但是照明光路部分我不知道我该如何设置，我的光源是非相干单色的光源，我想实现柯勒照明。不知道您是否可以提供一些参考资料。 我在网站上有看到如下两个案例： https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/360041780494-Defect-on-a-metal-surface https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/360041768554-Optical-Defect-Metrology-S-Matrix- 在两个例子中，根据我的理解，前者照明点为单一数字，后者使用扫描点显微镜，其中图像的每个像素都是从结构中给定照明点散射的输出平面波的非相干总和生成的，照明点覆盖整个物体平面的阵列。 我理解的后者（扫描点显微镜）好像是我需要的程序，后者可以实现柯勒照明。不知道是不是这样。 因为我试过这两个程序，仿真得到的图像都无法与实验得到的图像匹配（图案不一致），所有我不确定我的理解对不对，希望可以得到您的帮助。谢谢老师！

[Guilin Sun]

你知道为什么要柯勒照明吗？这种照明只是让物面光照均匀而已。仿真时假设物体表面上光强是均匀的，因此与照明系统无关。 注意，现在仿真的是放大率为正1的情况。其它放大率，你需要修改脚本，在修改脚本前还需要对成像原理有深刻理解，因为现在的方法需要借助几何光学的原理修改角量。

[limgajun]

老师您好，谢谢您的解答，我明白了您的意思，FDTD仿真时光源就是均匀照明的，无需设置。老师我实验所用的是非相干光源进行照明的，使用点扫描显微镜的程序的思想是对的吗（如下） 您提到的需要注意的放大率的问题，我也有进行修改，我的修改思路如下： 实际的放大倍数是50倍，像素尺寸为6.45um，我需要的区域大小为51*6.45um，相当于放大倍数为1倍时，51*6.45um/50=6.6um，因此我设置的x_illumination=linspace(-3.3e-6,3.3e-6,51); 另外您说的修改角量可以再详细展开说一下吗？ 谢谢老师，您辛苦了。

[Guilin Sun]

我不清楚为什么要考虑点扫描方法。 关于区域和放大倍数的关系，应该不是你所说的： 假设物体大小为1微米，放到50倍，那么像面上有50微米大。考虑到衍射，计算时的像面要更大。你看看这个 https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/360042256473-Lithography-using-binary-mask 物体仅1微米见方，仿真区要大的多。假设放大倍数为1，如果在计算时像面尺寸也用1微米，你就看不到超过1微米的场。 至于角度，请查看一下几何光学，看看放大率与角度之间的关系。实际上放大率与角度是有关系的就看你如何处理了。