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[ChengYuxuan]

由于工艺限制，刻蚀的直波导和圆环波导都是有一定的侧壁角的，侧壁角在直波导中仿真问题可以用waveguide来解决，那Ring的话如何仿真会更准确呢？

1）用三阶贝塞尔函数来仿真，虽然可以做到侧壁角，但与ring相比相差有点大

2）用矩形近似，但要仿真多波长光源输入，仍会造成不准确。

感谢解答！

[Guilin Sun]

目前侧壁角生成方法一般用Planarsolid https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034382334-Tips-for-adding-sidewall-angles-to-simulation-objects

你试一下看看增加点数能否改善。

另一种方法就是用很多不同半径的圆环一层一层垒起来，你看看结构组中类似的例子。