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[jinpenghuang]

孙博士您好！

我对薄膜反射率进行扫描时，发现扫描结果上有明显分界线出现！请问这是仿真设置错误的问题吗？?

图像如下：

[Guilin Sun]

斜入射你应该使用BFAST光源，或者用Bloch边界扫描波长，参见 Ansys Insight: FDTD Solutions中的最新BFAST光源技术及其应用

另外，你监测了多少个波长？如果监测点少，也可能出现这种情况。

其它原因可能是仿真时间不够，谐振没有完全衰减等，你可以增加仿真时间和降低autoshutoffmin 试一下。

主要原因可能是前面两个。

[jinpenghuang]

孙博士您好！

经过排除，我发现上述现象的原因是模型设置的问题。如下图所示，给待扫描薄膜加上衬底后，反射率中的异常尖峰减小，扫描图像中的分界现象基本消失。、

此外，我在角度扫描仿真中采用了BFAST光源，并添加了衬底，仿真结果图像很平滑。

请问为什么加了衬底后，分界现象基本消失呢？是因为没有衬底时，入射光透过薄膜后，经边界反射的光对结果造成影响吗？（横向周期边界，纵向PML）

希望您可以详细解释一下！非常感谢！

[Guilin Sun]

这两种情况仿真的不是同一个器件！ 没有衬底，谐振强，因为两边是空气；添加基底，一边的界面（相当于谐振腔的反射镜）折射率衬度变小，反射变弱。没有衬底一般情况下是不对的，因为你实际器件多数都有基底，除非采用特殊工艺将它掏空。

不加基底是常见的错误。

参见 Ansys Insight: 我的仿真结果为什么与文献或实验结果不一致?