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December 5, 2023 at 9:38 am
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首先十分感谢您能帮助我!
下面是我的结构:
周期为400nm的单元,最上层是金属十字型结构,高度为100nm,结构下是100nm的二氧化硅基底,基底下面是800nm的铜。光源距离金属结构上面是700nm,在距离结构2100nm(三倍波长以外)处设置了监视器,查看反射率。当实现干涉相消时,我用的是一块镁金属十字结构和金金属十字结构来将光反射回去,让反射光实现干涉相消。所使用的是x方向的线偏振光,波长为680nm。下面是示意图:
下面是FDTD设置:
autoshutoff我设置的1×e-12,这样让其都能模拟到我要求的时间。
我经过扫描已经找到了对于金、镁结构对应的反射率接近、相位差近似为pi的两个结构参数,这是十字的结构,镁的参数:L1=L2=155.263nm,W=55nm,其对应在2100nm处监视器的反射率为0.387744,相位为-1.51572;金的参数为:L1=L2=207.895,W=65nm,其对应在2100nm处的监视器反射率为0.378543,相位为1.63769。