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September 2, 2021 at 12:03 am
Guilin Sun
Ansys Employee
我不清楚为什么要考虑点扫描方法。
关于区域和放大倍数的关系,应该不是你所说的: 假设物体大小为1微米,放到50倍,那么像面上有50微米大。考虑到衍射,计算时的像面要更大。你看看这个
https://support.lumerical.com/hc/en-us/articles/360042256473-Lithography-using-binary-mask
物体仅1微米见方,仿真区要大的多。假设放大倍数为1,如果在计算时像面尺寸也用1微米,你就看不到超过1微米的场。
至于角度,请查看一下几何光学,看看放大率与角度之间的关系。实际上放大率与角度是有关系的就看你如何处理了。