如何仿真带有泽尼克像差的光刻

- September 26, 2022 at 7:06 am
  
  pengrenjuddd
  Subscriber
  
  老师好，
  APP gallery里关于光刻的demo只分析了理想平面波入射的情况，但我希望仿真带有泽尼克像差的成像
  Lithography using binary mask – Ansys Optics
  光瞳面的泽尼克像差我可以通过matlab给出，生成.mat文件，但这是用归一化极坐标生成的，是一个圆，而软件里的光源是一个平面矩形，请问该如何引入到光源里面？特别是 import source里，它的坐标还有.mat文件的矩阵元素数目等该怎么设置？请问是否有相关实例可以参考。
- September 26, 2022 at 4:31 pm
  
  Guilin Sun
  Ansys Employee
  
  矩形与圆型的空间频率分布不同，你需要修改这部分
  Rho = sqrt(Ux^2+Uy^2);
  p = (Rho <= NA); #scalar attribute must be named "p"
  p = p*(Uy>0); #disable to illuminate full circular aperture
  这个是按圆的，矩形两个方向不等，需要像一个办法做两个滤波函数来生成，每个过滤一个方向。
  
  但是有个问题你需要考虑：网上例子是按周期结构仿真的，这个光源应该不是周期的，这样就有矛盾了，你需要考虑如何化解这个矛盾。
  你也可以考虑用大的仿真区，仅仿真5个周期结构用大的自输入光源仿真看看，这是的分析用farfield3d；如果是周期仿真，需要用Grating分析。如果你有Premium Support邮件，可以联系我如何用光栅分析。
  
  生成光源函数的点数不一定与仿真的一样，输入后软件根据网格再插值。
  没有其它实例，只有
  https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034902053-Defining-a-beam-using-a-pupil-function