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求问etch和折射率为1的区别

- August 27, 2024 at 5:36 am
  
  zhangzongkun
  Subscriber
  
  我想在平板上刻蚀很多圆柱孔洞，一般是用etch。但折射率为1的介质是不是只有空气，那么按照下图这样设置这些圆柱为什么不能算是空气柱子呢？【相比设为etch的仿真结果也不一样】
- August 27, 2024 at 5:40 pm
  
  Guilin Sun
  Ansys Employee
  
  折射率为1的介质是只有空气，更准确地说是真空。
  你这个柱子设置的折射率是1.4，当然不是空气，也不会与Etch一样的结果啊。你用折射率监视器看看。
- August 28, 2024 at 5:14 am
  
  2504909744
  Subscriber
  
  老师，仿真时文献里说SIO2的介电常数取2.25，那我设置材料时是不是材料就是设置成Obiect defined dielectric 然后index取1.5就可以了呢
- August 28, 2024 at 12:28 pm
  
  zhangzongkun
  Subscriber
  
  不好意思，我重新按照折射率是1仿真了，但结果和设为etch的确实不同。但用折射率监视器看着折射率分布是一样的，很困惑这是为啥啊
- August 28, 2024 at 4:34 pm
  
  Guilin Sun
  Ansys Employee
  
  一般情况如果折射率监视器结果一样，仿真结果就应该一样，请再次检查一下文件是否其中一个变化没有保存下来。
- August 29, 2024 at 1:44 am
  
  zhangzongkun
  Subscriber
  
  谢谢老师，太专业了您

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