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[851575528]

老师您好，我在仿真求解氮化硅波导的有效折射率时，发现选择软件给的不同的氮化硅材料得出的结果差别很大。结构不变，

第一种结果及材料选择如下

第二种结果如下：

第三种如下：

以上Kischkat与其他两种的仿真结果差距较大，求解答，谢谢老师

 

[Guilin Sun]

正常！因为工艺可能不同，另外也许测量条件不同。

在这种情况下，最好的办法是自己实验室根据现有工艺条件自行测试，否则很难确定哪套数据与你们实验室工艺一致。