m202373352
Subscriber

非常感谢您的回复!您所说的我大致能听明白,但还有一些疑惑的点:

1.首先,请问在3D仿真中同一个XY坐标对应不同的z的值,即XY平面上的同一位置的不同高度的像素,折射率难道不是相同的吗?还是说不同高度的像素也是单独变化的?如果是单独变化的,那么假如说同意XY位置的不同高度的像素的折射率差异较大,那在最终的“二值化”阶段会不会造成麻烦,或者说不能很好的二值化到上下边界处?

2.“假設2D仿真中,一個區域優化完為2.16(剛好是案例1.44跟2.8的中間值),優化函數會根據連續性算出在XY平面上怎麼分布一半的2.8跟一半的1.44,假設結果是左上三角為2.8,右下三角為1.44,那轉換為3D就是左上三角2.8的位置厚度Z方向有3.48跟1.44分布”。您这里的解答我不是很理解,在lumopt中,每个小像素点的尺寸为20nm*20nm的矩形,这应该就是优化的最小单位了吧?所以您这里提到的左上角右下角的概念我不是很懂。。

3.您说的“等效折射率是Z方向的材料简化来的”,这个我理解,因为在2D仿真中实际只求解了一个平面,因而将材料在Z轴方向进行了压缩,采用等效折射率计算。我之前的表述可能有些疏漏的地方,这里再补充说明一下:之前提问主要也是针对XY平面。按照您说的,如果在2D仿真中,像素的折射率为设置为了2.8,那么转到3D仿真中时该位置刚好就对应3.48;同理,如果2D中是1.44的位置,即包层材料,转移到3D仿真中时恰好对应的折射率也为1.44(包层的折射率),不知道这么理解是否正确?那比如说,某个像素的折射率处在1.44和2.8之间的任意一个值,比如说1.8,那么此时如果从2D转到3D,该像素的折射率应该如何转换呢?

4.“優化函數會根據連續性算出在XY平面上怎麼分布一半的2.8跟一半的1.44”。您这里所说的意思是不是说优化函数会根据连续性计算出每个像素处2.8和1.44的占比,是这个意思吗?如果是这样的话,是不是意味着每个位置的像素的折射率实际上是由上下边界值的不同系数的混合构成的:

即:index = α*1.44 +β*2.8;α和β为系数,表示二者所占的比例。这样理解是正确的吗?如果正确的话,那么从2D转移到3D仿真时,是不是也按照这个比例进行的转移,只不过上下边界值发生了变化,即:index' = α*1.44 +β*3.48;α和β为系数?

5.您回答中提到的“優化函數”请问指的是哪个函数?是软件安装时带有的lumopt文件夹中的“Optimization”函数吗?还是说是其他函数?那么具体在什么位置有说明折射率从2D到3D的转换过程的呢?能不能麻烦您帮忙指出?

最后,真诚的感谢您的认真回复,再次烦请您能在百忙中抽空查看,祝您身体健康,工作顺利!