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[Guilin Sun]

说是没有Grating Order， 还是第一次遇到。

你用VIsualizer选10个周期测试看看有无衍射级？

Gratingm 测试一下看看是否工作？ 

即使均匀空间都可以得到衍射级

你先把结构Disable 再测试看看。

也许你需要重新先测试原结构，再少量修改，最后达到需要的结构，每次测试看看。