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[Guilin Sun]

首先，单元仿真没有问题，如果是窄波段，可以用RCWA，请参考例子。

FDTD当然也可以，特别是宽谱，一个入射方向的情况。

你需要检查一下设置，看看是哪部分需要的内存比较大。一般不要人为地将网格变粗，用缺省的。

其它信息请参考网了大超透镜的例子，最后不需要用FDTD仿真，而是根据叠加原理计算，否则需要的内存太大，可能导致问题。