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[Guilin Sun]

物理仿真软件，像CHARGE和FDTD，是将实际器件网格话仿真计算的，因此，仿真结果的光滑性不会比网格更好。当然，你可以用插值的方法interpolating 结果，参见 

2D interptri 

3D interptet

不过插值方法可能会引入一定的误差，一般情况问题不大。

你可以进一步降低网格尺寸，或者用细化网格constraint。