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[Guilin Sun]

Lumerical软件有强大的参数扫描功能，也可以平行（同一层）扫描，即多个参数去不同的数值但是扫描点数相同，第一个点选参数的第一个数值，第二次选第二个数值等；还可以嵌套（不同层）扫描，例如：两个参数 x 和 y 的sweep，x 的取值为[1 2 3 4],y 的取值为[7 8 9]，设置嵌套扫描可以得到得到[1 7],[2 7],[3 7],[4 7],[1 8],[2 8],[3 8],[4 8],[1 9],[2 9],[3 9],[4 9]的所有组合：

右键点击第一层扫描，可见insert parameter sweep,点击即可

然后可以分别设置：第一层X扫描（这里选的是Values）；

在修改第二层扫描：

最后是这样

 

注意1：仿真的结果应该在内曾扫描里设置输出，然后再外层结果里面可以看到这个结果传过来。用Getsweepresult后可以得到这两个扫描参数以及扫描结果。

注意2：因为是嵌套扫描，总的仿真文件个数是每层的仿真个数相乘，因此最初设置时不要选太多扫描点，以免仿真文件太多降低仿真效率。 一个简便的方法是根据初步结果逐步缩小仿真范围。

KB介绍 Parameter sweep utility