Reply To: 使用RCWA进行参数扫描的问题请教

[olivia.liu]

 

你好，关于这几个问题

 

1. k值设置100计算精度应该还可以，如果想验证，可以使用多个k值对单个结构做仿真并对比仿真结果。所用案例中是圆形的纳米柱结构，仿真矩形纳米柱可以考虑将k vectors domain设置为rectangular。
2. rcwa的simulation source是平面波，入射光通过结构层传播后计算结果。grating_characterization结果为每个光栅阶次的s参数，相位是光栅阶次平面波与源之间的相位差。不是很清楚你fdtd中的具体设置，但可以根据这个检查一下两个仿真文件的一致性。
3. 如果rcwa仿真是使用的案例中给的扫描配置，取样是51*51，只是看这两张结果图，图1的采样点数是比图2多的。可以检查一下fdtd和rcwa做参数扫描的时候配置是否一致。
4. 关于rcwa求解器的更多介绍详见这个链接，可以参考下。
   RCWA Product Reference Manual – Ansys Optics