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December 24, 2024 at 11:45 am
GuanYo Dong
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你好
建議先在Lumerical中直接做RCWA/FDTD計算,確認衍設效率計算正確,再到Zemax中聯動
有些情況可能倒置我們計算不對,比如仿真中材料是否跟您預想的相同?網格是否足夠? K number等
我看到您的截圖水平x mesh挺多的,材料應該也正確,建立layer也確認一下,斜的結構應該在該層測試切層數量是否收斂,還有k number給不同的值來比較結果
另外金屬的K比較大,不一定代表很強的吸收,
在薄的時候會有些吸收,但厚的時候更代表對相位的影響,比如我們常看到的高反射代表相位的反轉,因此建議您先建議FDTD本身計算光柵的結果來排除問題
莎益博 董冠佑