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[212180322]

老师您好：

        我在用zemax与FDTD联动的时候，因为光栅里面有金属AL，所以我已经按照说明把zemax里面的Has metal in grating这一选项设置为了1.正入射的时候，计算出来的结果是R0=71.39%，R-1=R+1=14.31%,这加起来能量已经等于1了，这相当于是没考虑金属的吸收，请问这是为什么？

[Kirill]

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[GuanYo Dong]

你好

建議先在Lumerical中直接做RCWA/FDTD計算,確認衍設效率計算正確,再到Zemax中聯動
有些情況可能倒置我們計算不對,比如仿真中材料是否跟您預想的相同?網格是否足夠? K number等
我看到您的截圖水平x mesh挺多的,材料應該也正確,建立layer也確認一下,斜的結構應該在該層測試切層數量是否收斂,還有k number給不同的值來比較結果

另外金屬的K比較大,不一定代表很強的吸收,
在薄的時候會有些吸收,但厚的時候更代表對相位的影響,比如我們常看到的高反射代表相位的反轉,因此建議您先建議FDTD本身計算光柵的結果來排除問題

莎益博 董冠佑