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[Da cheng Mo]

老師您好:

我想讓我的特定區域的mesh達到0.01um所以採用override mesh，但我設定完override mesh之後使用標尺看特定區域網格幷沒有顯示成0.01um。

連用index monitor 看特定範圍的CD 也還是FDTD simulation的精度0.05um。

請問老師我的理解和設定有錯嗎？

[Guilin Sun]

你给出的数据1.46958是什么参数？

请确认Override在这个仿真区内，有的时候可能是第三维坐标不在仿真区，因此没有效果。你有可能看网格，这里如果粗的话就是正确的。

 

另外，一般情况下很少将局部变粗的，你这个是5倍变粗，假设原来背景网格是十分之一波长，五倍后的仿真结果就不能用了，因为精度太差。

其它参见 

Ansys Insight: 在FDTD 仿真的过程中mesh的精度如何设置？

Ansys Insight: 用于设置Mesh accuracy对应多大的网格尺寸

Ansys Insight: 何时使用(override) Mesh

Ansys Insight: 关于FDTD算法中的细化网格Override尺寸的设置目的

[Da cheng Mo]

關於1.46958 是示意圖的強度(color bar 顯示的)，五格代表有五個0.05um所以代表CD 是0.25， 但我設定的CD是0.22。也就是說0.05的FDTD mesh 不足以辨認小於0.05um的變化。

我是把局部的網格調細，讓它變得更精細ㄝ。我FDTD mesh 0.05um， override mesh 0.01um，我是這樣設定的，但我看不到override mesh 的網格切成什麼樣。

[Guilin Sun]

如果Override Mesh在仿真区中，这个就很奇怪了。请你用一个空的Project文件测试，显示一下网格看看是否正常。如果正常，请将结构/光源/监视器拷贝到新的文件中，另外再添加FDTD 和Override测试看看。也可以把文件发当地技术支持，让他们帮助看看。

所以,请

1： 用新文件测试网格情况

2：拷贝到新的文件，不要拷贝FDTD和Override，必须新添

3：如果还有问题，请下载最新版

我这边测试没有啥问题。也可能是显示问题？你可以将监视器坐标输出，查看坐标的变化。