週期性光柵不同厚度下的透射率

- July 8, 2021 at 9:28 am
  
  YuchiaKer
  Subscriber
  
  老師您好，
  
  我的目標是研究雙層週期性光柵在不同厚度下的透射率，
  
  其中雙層光柵間隔為25um，光源為單一波長，
  
  而光柵厚度我使用的間隔為每1nm仿真一次，以下是我仿真後的結果
- July 8, 2021 at 6:06 pm
  
  Guilin Sun
  Ansys Employee
  
  我估计是仿真网格尺寸大于1 纳米，因此结构每次改变1纳米时FDTD可能不能检测到这个变化。改善措施：将最大厚度的范围加一个Override网格，设置网格尺寸为1纳米。然后确认每次变1纳米时，网格上看到的材料边界一样，比如都是卡在网格上。
  
  不过，1纳米可能太小，因为实际制造能控制的精度如果是5纳米，那么1纳米的厚度变化就没有必要了，至少变化制造误差的大小。
  
  其次，当网格尺寸很小比如1纳米时，可能产生一些问题，比如仿真时间变得很长；内存需要很大；甚至PML可能很薄。此时要增加PML离开结构的距离，使得PML位于均匀网格区域，同时要注意PML的厚度足够，比如半个波长以上。
  
  请修改测试看看。
- July 11, 2021 at 12:22 pm
  
  YuchiaKer
  Subscriber
  
  我試過仿真結果確實好多了，謝謝老師。
- July 12, 2021 at 3:34 pm
  
  Guilin Sun
  Ansys Employee
  
  好的，谢谢告知！有问题继续在论坛发帖。本贴问题已经解决。