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[Guilin Sun]

我这边测试没有问题，很可能是哪里设置有问题。你这个只需要设置一个min（起始）,两个max（两个界面，光栅与基底，光栅与空气）即可。

如果还有问题，你需要将结构拷贝到全新的RCWA Project 文件，再测试。

或者重新启动计算机；

或者重新安装最新版。