Reply To: 如何仿真带有泽尼克像差的光刻

[Guilin Sun]

矩形与圆型的空间频率分布不同，你需要修改这部分

Rho = sqrt(Ux^2+Uy^2);

p = (Rho <= NA); #scalar attribute must be named "p"

p = p*(Uy>0); #disable to illuminate full circular aperture

这个是按圆的，矩形两个方向不等，需要像一个办法做两个滤波函数来生成，每个过滤一个方向。

 

但是有个问题你需要考虑： 网上例子是按周期结构仿真的，这个光源应该不是周期的，这样就有矛盾了，你需要考虑如何化解这个矛盾。

你也可以考虑用大的仿真区，仅仿真5个周期结构用大的自输入光源仿真看看，这是的分析用farfield3d；如果是周期仿真，需要用Grating分析。如果你有Premium Support邮件，可以联系我如何用光栅分析。

 

生成光源函数的点数不一定与仿真的一样，输入后软件根据网格再插值。

没有其它实例，只有

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034902053-Defining-a-beam-using-a-pupil-function